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Planarization v. 15 (2013年版)-
CMP & its applications
精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」、2013-
CD-ROM 12cm
Planarization v. 1 (1998)-
精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」 [編]、精密工学会「プラナリゼーショ・・・
冊 30cm
CMP技術大系
A library of CMP planarization technology & application
土肥俊郎, 木下正治 監修 ; 精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」 編、・・・
788p 27cm
4907847130
図解半導体ウェットプロセス最前線 : めっき・CMP・洗浄、そしてデバイスへの応用
辻村学 著、工業調査会、2007.12
211p 21cm
978-4-7693-1270-3